性能指標:

チャージ能力  500 ~ 800 kg

充填圧力最大   0.6Mpa(6kg/cm2)

固有周波数垂直方向< 0.6HZ水平方向< 0.8HZ

台平面度  0.10 mm/m2

台顔距離  25mm/26mm

適用機器:

★表面粗度計、外形輪郭計、顕微鏡硬度計、計器花崗岩プラットフォーム、半導体検査装置、光学実験設備などの精密設備。

★光学、精密計量、精密測量、生物、医学、マイクロエレクトロニクス、半導体など各分野

スペック表:

VZアクティブ防振プラットフォームはカスタマイズする必要があり、規格寸法は実際の需要に基づいて制作することができます。