性能指標:

VLシリーズのプラットフォームはVシリーズの防振器を采用して、台面低位設計を采用して、試験システムの重心が低い要求を満たすことができます。

チャージ能力500 ~ 800 kg

充填圧力最大0.6Mpa(6kg/cm2)

固有周波数垂直方向< 3HZ水平方向< 5HZ

台平面度 0.10 mm/m2

台面孔距25mm/26mm

适用范围：

★表面粗度仪、外形轮廓仪、显微镜硬度计、仪器花岗石平台、半导体检查装置、光学实验设备等精密设备。

★光学、精密计量、精密测量、生物、医学、微电子、半导体等各个领域

参数规格：

根据实际需求尺寸定做。