性能指标：

VL系列平台采用V系列的隔振器，采用台面低位设计，能满足要求测试系统重心较低的要求。

载荷能力 500～800 kg

充气压力 最大0.6Mpa(6kg/cm2)

固有频率 垂直方向 < 3HZ水平方向 < 5HZ

台面平面度 0.10 mm/m2

台面孔距 25mm/26mm

适用范围：

★表面粗度仪、外形轮廓仪、显微镜硬度计、仪器花岗石平台、半导体检查装置、光学实验设备等精密设备。

★光学、精密计量、精密测量、生物、医学、微电子、半导体等各个领域

参数规格：

根据实际需求尺寸定做。