Leistungsindikatoren:

Tragfähigkeit 500 ~ 800 kg

Belüftungsdruck max. 0,6 MPa (6 kg/cm2)

Eigenfrequenz vertikal < 0,6 Hz horizontal < 0,8 Hz

Ebenheit der Arbeitsplatte 0,10 mm/m2

Tischflächenabstand 25mm/26mm

Geeignete Ausrüstung:

1.Präzisionsausrüstung wie Oberflächengröbermesser, Profilmesser, Mikroskophärteprüfer, Instrumentengranitplattform, Halbleiterinspektionsgerät, optische Versuchsausrüstung usw.

2. Optik, Präzisionsmessung, Präzisionsmessung, Biologie, Medizin, Mikroelektronik, Halbleiter und andere Bereiche

Tabelle der Spezifikationsparameter:

Die aktive Schwingungsisolationsplattform VZ muss angepasst werden, und die Spezifikationsgröße kann entsprechend den tatsächlichen Bedürfnissen hergestellt werden.